ESCA メインチャンバー真空排気
全て、フランジ等を閉めたかどうか確認すること。
作業し忘れたことがないか確認すること。
Auto Valve Controlの前面のパネルのRough Chamberボタンを押す。
ロータリーポンプをONにする。
仕様なのか、ロータリーポンプの電源が入っているとRough Chamberボタンが動作しない
5分ほどして、ロータリーポンプからの排気音が聞こえなくなったら、ターボ分子ポンプの電源を入れる。
Auto Valve ControlのコントロールボックスのLEDが５個ついてから３０分排気する。
真空計(Digital Gauge Control III, DGC III)の電源を入れ、
1/Tボタンを押してフィラメントを点灯する。
このとき、10
-1
Pa以下であると、ピーと音がして停止する。この場合は、深刻な漏れがあるので、
チャンバー大気開放の手順
に従い、再度大気開放する。
真空度が10
-5
Pa台になったら、イオンポンプのバッシングをする。
イオンポンプのModeつまみをOFFから一瞬STARTにしてすぐ、OFFに戻す。
このとき真空度が、かなり悪くなる。真空が良くなるのを待ち、再度バッシングを繰り返す。
バッシングしても真空度が悪くならない様になったら、START位置につまみを動かし、真空度が悪くならないのを確認した後、MODEをRUNにする。
Auto Valve Controlの前面のRough Chamberボタンを再度押す。（ランプが消える）
Auto Valve Controlの前面のパネルを閉める。
チャンバーのベーク作業へ進む。
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