ESCA分析操作マニュアル
現在のマニュアルは、暫定版です。今後特にトラブルシューティングについて充実させていく予定です。 ご質問のある方は、応用分子化学科
今井 潤
まで
目次
実験操作手順
試料調製方法
前処理
試料セット
試料導入
試料取り出し
分析条件設定
分析位置の確認
分析面積の決定
X線管球の決定
帯電補正
ファイル名および、ディレクトリの決定
Wide(Survey)測定
Survey測定
Surveyデータ解析
定性分析
定量分析
多元素同時分析(Multiplex)測定
Multi測定
Multiデータ測定
定量分析
Curve Fit
深さ方向分析(Depth Profile)測定
条件設定
測定
深さ方向分析データ解析
Mapping
条件設定
測定
解析
メンテナンス
停電前の立ち下げ
停電後の立ち上げ