停電前の停止方法
装置の立ち下げ
- オートバルブコントロール(AVC)にてDiff Pump Ion Gunを押す
- サーモバルブコントロール(RBG050B)の電源OFF
- Digital Ion Gauge Control III(DGCIII)の真空度表示が10-6
Pa 台
より悪くなったら、イオン銃のバリアブルリークバルブ(VLV)を閉じる
堅く閉じすぎないこと！壊れます。
- VLVを閉じた後、30秒後にAVCのDiff Pump Ion Gunを再度押す
V7バルブのみ開で、その他のバルブが閉であることを確認する
もしそうでない時は、AVC電源部にある、右側のパネルをはずし、
AVCをMANにして、V7以外のバルブをマニュアルで閉じる
- ターボ分子ポンプ(STP-200)のSTOPボタンを押す
停止するまで約30分待つ
- メニューのSystem Control 内のExit Programを選ぶ。
- Yesを押す。
- Windowの左上のボタンをダブルクリックしWindowsを終了する
- 周辺機器の電源を切る
Card Rack Power
CRT
プリンター
電流計
チャンバー内用ライト
Digital Ion Gauge Control III(DGCIII) (1/Tボタンを押しフィラメントを消してから，つまみをひねりOFFにする）
コンピュータ
- STP-200主電源OFF
- ロータリーポンプOFF
- AVC OFF (AVCコントロールの左端のスイッチ)
- 圧縮空気圧を0にする(本体左側面後ろ寄り)
- イオンポンプをOFFにする
- Electrics PowerをOFFにする
- Main Power をOFFにする
- 窒素ボンベを閉めた後に、窒素の配管をESCA本体左背面から外しておく
- 約２時間後に配管を元に戻す