5.　チャンバーベーキング

1. エッチング用Arガス排気 （すでに、やっていない場合のみ行う）
   
   ThermoValveControlの電源をOFFにする。
   
   真空度が1x10^-6Pa台になったらアルゴンボンベのところのバリアブルリークバルブを閉める。
   
   
2. ケーブルの取り外し
   DGCのフィラメントケーブル以外を全て取り外す。
   
   
   
   
3. カメラの取り外し
   黒いリングの部分を緩め、ビデオカメラを取り外す。
   
4. Conventional X線源の取り外し
   冷却水および高圧ケーブルをはずす。冷却水は下図のようにまとめておくこと。
   
   向かって左側のカバーを上下３本ずつのネジをはずして取り外す。
   
   テフロン製のシートを取り除き、
   
   
   ２カ所のチューブコネクターをはずし、テフロン配管を取り外す。
   
   
   向かって左側のカバーのネジだけ外しておく。
   
   アース線を取り外し、ネジはもとの穴に戻しておく
   
   左側の部分を上に引き抜くと下図のようになる。圧縮空気等で中の冷却水を抜いておく。
   
   
   
   
   
5. Monochromated X線源の取り外し
   
   ケーブルを取り除く
   
   カバーを外す
   
   専用のレンチでテフロンブロックを外す（２カ所）
   
   アース線を外す
   
   少しきついが、無理をしないようにすこしねじりながらまっすぐに引き抜く
   
   
   高圧ケーブルを取り外す
   
   上記のレンチでネジをゆるめる（３カ所）
   
   
   
   
   マイナスドライバーをゴムの内側にいれ、そこにあるスプリングを左に押しながら、この部分を手前に引き抜く
   
   
   
6. アルミフォイル付け
   ケーブルを外した部分および、ビューイングポートにアルミフォイルを付けておく
   
   
7. 汚れ取り
   チャンバーの手垢をエタノールでふき取る。
   
   チャンバーの天板を取り除く
   チャンバー部分の天板は前後に２枚に分かれるので、コンピュータ側の天板とのつなぎ目の金具（前後２カ所）と左側面の金具を外し、コンピュータ側の天板を少し右に引いてから、チャンバー部分の天板を取り除く
   
   
8. オーブンの設置
   チャンバーにオーブンをかぶせる。
   このとき、INTRO,プリチャンバーのゲートバルブは、オーブンの外に出すこと。
   
   
   
   
   
   
   
9. インターロックの解除 とファンの取り付け
   前面と背面のベークのインターロックをポッチを引き上げて、イントロの冷却のため、ファンを取り付ける。（電源はESCA背面よりとる）
   
   
   
10. ベーク開始
    タイマーをセットし、ベーク開始ボタンを押す。
    
    翌日オーブンを取り外し、冷却してから調整に移る。
    
    

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