ベーキング後の位置あわせ

1. 分析位置あわせ

1. ESCA用ソフトPHI-ACCESSからResolution Selectより、HRESをPass Energy 23.5, eV/step 0.1に設定する。
2. アパーチャーを400μｍ φにする
3. 位置あわせ用の銀のプレート（スリット入り）をリセスホルダーに固定して入れる。
4. 
5. ソフトのメニューよりF3 Hardware Control→F5 Setup Alignを選ぶ
6. プレートの縦横の筋とステージのX軸Y軸をあわせる
7. Ｘ線管球をMgKαにして、点灯する
8. 400μmのスリットを利用し分析位置の横位置を合わせる
9. （カウント数が最小になるところが、スリットの位置なので、４カ所のカメラの固定用ネジをプライヤーで回して、位置を合わせる。）
   
10. 800μmφの穴に移動し、分析位置が穴の中心になるように合わせる
    
11. アパーチャーを120μｍにして中心の穴(200μmφ)で、焦点が合っている位置と分析位置と合うようにする。（カウント数が穴の中心に合わせたときに最低になるように）

2.イオン銃の調整

1. アルゴン銃のフィラメント交換を行った場合には、先にフィラメントのエージングを行う
   
2. 微小電流計をTargetからIONのほうへ切り替える
   
3. ファラデーカップを導入する
4. 中心の穴に焦点を合わせる
5. ラスターをX,Yともに０にする
   Dif. Pump Ion Gunボタンを押す
   Ar Gun Controlの電源を入れる
   エミッション電流を25mAにする
   
   ThermoValveをSet Point側にする
   Beam Voltage の脇のスイッチをONにする
   
6. イオン銃コントロールのPositionつまみX,Yを動かしてイオン電流に
7. 最大値が出るようならば、最大値に合わせる
8. もし最大値がないようならば、イオン銃の側面のネジを動かしてイオン電流が最大になるように調整する
   
9. 改めて、Positionつまみで最大になるところにする（3kVの場合100nA程度以上になるはずです）
10. Positionつまみで最大後、3kVのときのラスターをX,Y=0,0，1,1，2,2，3,3，4,4，5,5，6,6のときのイオン電流値を表に入れて計算する
11. 4kVにして、condとobjによってイオン電流が最大になるように調整する。4kVのときのラスターをX,Y=0,0，1,1，2,2，3,3，4,4，5,5，6,6のときのイオン電流値を表に入れて計算する

3.　モノクロX線源の位置合わせ

1. 蛍光板を入れる
2. X線源をモノクロAl2mmにする
3. マイクロメータ1,2を使い、分析位置が一番明るくなるようにする
   
4. マイクロメータ3を用いて、蛍光像がSharpになるようにする
5. 蛍光坂を取り出す
6. 蒸着銀板を入れる
7. ResolutionをHRES Pass Energy 5.85, eV/stepを0.1にする
8. アパーチャー800μmφにする
9. Tiltを85゜にする。
10. ソフトのメニューよりF3 Hardware Control→F5 Setup Alignを選ぶ
11. モノクロAl2mmのX線源をつける
12. マイクロメータ4で電流最大にする
13. マイクロメータ1で電流を最大にする
14. マイクロメータ2でCounts/secを最大にする
15. 13,14を繰り返す。目標は20万counts/sec (2000counts/10msec)
16. 最後にマイクロメータ4で半値幅を最小になるようにする（0.5以下）