Ar銃フィラメントのエージング

1. 定電圧電源とイオン銃HVターミナルとの間を下図のように配線する
   
2. 差動排気型イオン銃の場合は、V4バルブを開き差動排気を開始する
3. 電流制御にて電流値を0.2Aずつ20分毎に上げて行く
   このとき、テストチャンバーの真空度が10^-7Pa台の真空度を保つようにする。ガスが放出され、著しく真空度が悪くなる場合には、真空度が良くなるまでそのまま放置する
4. 電流値が2.0A(電圧は4〜5Vを示す)になったら20分放置する
5. 定電圧電源を取り外し、通常のケーブル配線に戻す
6. イオン銃コントロールが、Beam Voltage OFF, 0kV、エミッション電流ゼロ（反時計回りいっぱい）であることを確認し、電源を入れる
7. エミッション電流を2.5mAずつ20分毎に25mAまで上げる　真空度に気をつけて10^-7Pa台に保つようにする。
8. エミッション電流が25mAになったら、一度エミッション電流を0にする
9. Beam VoltageをONにして、高電圧を徐々に上げて、4kVまでかけてみて、異常がないか確認する
10. Beam Voltageを0kVに戻す
11. エミッション電流を再度25mAにする
12. 0.5kVずつ10分毎に高電圧を印加し、4kVになるまで、続ける
13. 終了