ESCA メインチャンバー大気開放

• Ｘ線電源OFF,Ion Gun Control電源OFFにする。
• 差動排気開始、ThermoValveをOFFにする。
• 10^-6Pa台まで真空度が上がったら、アルゴンボンベのバリアブルリークバルブを閉める
• 真空計(Digital Gauge Control III, DGC III)の1/Tボタンを押し、フィラメントを消してから、
  
  電源をOFFにする。
  
  
• イオンポンプの電源をオフにする。
• ターボ分子ポンプのSTOPボタンを押す。
  
  
• ３０分放置（フィラメント冷却およびターボ分子ポンプの停止を待つため）
• ターボ分子ポンプの電源OFF
• Auto Valve Controlの前面の小さなパネルを外し、Back Fill Chamberボタンを押す。
  
  
• INTROのフタが開くまで待つ。
• ロータリーポンプをOFFにする。
• 大気開放終了