Ar銃フィラメント交換

1.　故障確認

症状
　　エミッション電流が流れない。
確認
　　Arイオン銃の黒いコネクターを外し、Ar銃側の端子の1と2の抵抗を測定する。
　　フィラメントが切れている場合、抵抗無限大

2.　チャンバーの大気開放

  1. エッチング用Arガス排気
    AVCコントロールのDiff Pump Ion Gunを押す(V4バルブ開を確認)
    ThermoValveControlの電源をOFFにする。

    真空度が1x10-6台になったらアルゴンボンベのところのバリアブルリークバルブを閉める。

  2. 真空計停止
    DGCの1/Tのボタンを押す。
  3. イオンポンプ停止
    イオンポンプ電源をOFFにする。
  4. 大気開放
    X線源、イオンポンプ、真空計を停止してから、フィラメント冷却のため30分程度待つ。
    窒素ボンベに窒素が入っていることを確認。
    INTROが減圧されていることを確認（LEDが５個点灯していること）
    AVCの前面のフタをはずす。（ネジ２本）

    Back Fill Chamberボタンを押す。（約２分程度で窒素導入終了）

    INTROのフタが開けば導入終了。

  5. ターボ分子ポンプ停止
    STOPボタンを押してから３０分ほど待ってから電源をOFFにする。

3.　フィラメント交換

  1. エッチング銃分解
    ボルトをはずし、イオン銃を開ける。

    T字配管を取り外す。このとき、サポートとワッシャを取り外します。

    フィラメントアセンブリの３つのネジを外し、アセンブリを新しいものと交換する。

  2. フィラメント交換
    HVターミナル（黒いコネクターの雌の方）の１と２の導通（0.3オーム程度）を確認する。
    絶縁計（500Vもしくは1000Vのもの）を用いGNDに対する各端子の絶縁、Pin 1, 2以外の各端子間の絶縁を確認する。
  3. エッチング銃組み立て
    新しいガスケットを取り付ける。
    ネジを対角線上に締める。

4.　チャンバーの真空引き

  1. INTROのふたのOリングにゴミが付いていないか確認する。
  2. ターボ分子ポンプが停止していることを確認する。
  3. ロータリーポンプをOFFにする。
  4. AVC前面パネルのRough Chamberボタンを押す。
  5. ロータリーポンプをONにする。
  6. ロータリーポンプから音がしなくなったら、ターボ分子ポンプの電源を入れStartボタンを押す。
  7. AVCのLEDが5個点灯したら、30分排気後、真空計(DGC)を1/Tボタンを押して点ける


    1x10-1Paより悪い場合は、漏れがありますので、ターボ分子ポンプを停止して、漏れ部分の確認を！
  8. 真空度が1x10-4Paより良い場合には、以下の手順でイオンポンプON
  9. イオンポンプのMODEつまみを、一瞬Startにして、またOFF に戻す操作（バッシング）を、真空度が悪くならなくなるまでおこなう。
  10. メーターを10kV表示にし、左のスイッチを[Start]位置にした時、4～6kVの間になることを確認の上、[ON]にする。
  11. 長時間、低圧下で[Start]位置で運転するとポンプが壊れるので注意!
  12. AVCパネルのRough Chamberボタンを再度押し、V1バルブを閉める
  13. AVCパネルのカバーを閉じる
  14. チャンバーベーク

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